로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 Yuichi TAKADA 1건

습식도금 자료분류

자료수 10978 건

추천글

Tag LIST

ULSI 배선상의 무전해니켈 도금에 의한 베리어 메탈의 형성
Formation of Barrier Metal Using Electroless Nickel Deposition on ULSI Wiring

등록 : 2014.11.17 ⋅ 10회 인용

출처 : 일렉트로닉스실장학회지, 4권 4호 2001년, 일어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

ULSI 配線上への無電解ニッケルめっきによるバリアメタルの形成

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
현재 베리어층으로 사용되고 있는 질화규소 SiN 막의 대체로, 무전해니켈 합금도금을 이용한 50 nm 정도의 피막을 독립화한 구리의 패턴위에 성막하여, 소위 캡메탈 형성에 관하여 검토

연관글

  1. 연구문헌자료.. 무전해 니켈 도금의 내식성에 대한 욕노화의 영향
  2. 연구문헌자료.. 산성 무전해니켈 도금 복합 광택제 및 그 사용 방법
  3. 연구문헌자료.. 플렉스 회로용 연성 무전해 니켈을 사용한 ENIG
  4. 연구문헌자료.. 폴리이미드에 무전해 도금 기술의 실용화
  5. 연구문헌자료.. 유기적으로 안정화된 무전해 니켈을 사용한 운영 경험
  6. 연구문헌자료.. CaCO3 분말 표면에 대한 무전해 니켈 도금 방법
  7. 도금재료 카타록/TDS.. LEN 193 / Electroless Nickel
  8. 연구문헌자료.. 시라스의 공업적 이용에 관한 연구 (제11보) - 시라스 발룬의 무전해니켈도금
  9. 연구문헌자료.. 구연산을 착화제로한 화학니켈 도금욕의 폐액처리
  10. 도금재료 카타록/TDS.. TAILORCOAT® ENiP Tribology Solutions
  • 저농도로 희석된 HF 수용액 (6 wt %) 을 사용하여 Al(OH)3 의 표면을 F/Al 의 몰비 0.15 에서 처리하고, 처리 전후 표면특성을 관찰하였다. 반응계의 온도 및 pH 변화로부터...
  • 디폴라이지드 니켈 ^ Depolarized Nickel Anode [전기니켈]을 고주파 유도로에서 용해하고 산화니켈을 첨가하여, 압연 가공한 [니켈양극]으로 산소 함유량을 0.05~0.2 % 정...
  • 폐수처리에 관한 트러불중에, 직간접적 수처리에 영향사례를 트러블별로 소개
  • 원관내란류의 라그랑주 특성에 관한 일련의 연구를 해왔다. 트레사 로서 수소기포와 폴리스티렌 입자를 이용하지만, 전자는 부력, 후자는 밝기면에서 측정상의 제약이 생겨 ...
  • 차아인산나트륨 ^ Sodium Hypophosphite [차아인산소다] 참고 [무전해니켈도금|무전해 니켈도금] [환원제]