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무전해 구리도금 석출 과정에 있어서 온도 효과
The temperature effects on electroelss copper deposition

등록 2015.01.26 ⋅ 31회 인용

출처 덴소테크니칼뷰, 2권 1호 1997년, 일어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.30
TEA형 무전해구리도금의 파막 품질에주는 영향인자로서, 도금액 온도를 착안하여 검토한결과, 저온도에 형성된 도금피막의 신율은, 고온도에 형성된 도금피막에 비하여 왜곡도 의존성이 높다는것을 AFM과 TEM으로 관찰 조사한결과를 발표

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