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MEMS 용 역펄스 자성도금 공정
Pulse Reversal Permalloy Plating Process for MEMS Applications

등록 : 2015.03.21 ⋅ 12회 인용

출처 : ECS Transactions, 3권 25호 2007년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.07.11
니켈-철, 특히 퍼멀로이 도금은 40년 이상 알려져 사용되어 왔지만 여전히 해결해야할 안정성 및 유지 관리와 관련된 몇가지 문제가 있다. 저응력 도금으로 사카린이 없는 펄스반전 도금 퍼멀로이 전해질을 제시하고 선택된 MEMS 응용을 시연하였다. 강력한 착화제인 5-설포살리실산을 사용하면 도금욕에 Fe3+ ...