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집적 미세 자기장치 공정기술 적용과 자기재료의 개발
Development of magnetic materials and processing techniques applicable to integrated micromagnetic devices

등록 : 2015.03.21 ⋅ 17회 인용

출처 : Micromech. Microeng., 8권 1998년, 영어 10 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.07.12
전기도금된 자기 등방성 및 이방성 연질 합금과 마이크로머신 마이크로 자기 장치에 적용할수 있는 스크린 인쇄 연질 페라이트는 현장 측정 기술을 사용하여 제작되었다. 전기도금 및 스크린 인쇄 기술과 같은 적절한 자성재료 및 증착방법을 검사하고 재료 테스트 구조를 제작하였다. 재료 특성화 후, 자성재료 및 도금...
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