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Ni-Pd 합금 전해도금의 특성에 관한 연구
A Study on Characteristics of the Ni-Pd Alloy Electroplating

등록 : 2016.03.11 ⋅ 22회 인용

출처 : 한국표면공학회지, 48권 6호 2015년, 한글 7 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.06.01
MEMS 프로브 도금물질의 연구를 위한 버티칼형태의 Ni-Pd 특성에 관한 연구
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  • 90 nm 제조 노드이하에서 구리공정 변수를 충분히 이해하여 구리도금을 허용하고 기술을 활성화 하였다. 구리도금의 핵심 문제에는 트렌치/비아 프로파일 및 종횡비 제...
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