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자료요약
카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2020.12.28
알루미늄 Al 1050 sheet 의 화학연마를 통한 cavity 형성을 시도하였다. 실험결과의 정량적인 평가를 위해 cavity depth 400 ㎛ 이상, cavity uniformity 5 ㎛ 이하, 표면조도 1 ㎛ 이하로 목표치를 정하였다. Al 시편은 AZ P4330 RS photo resist 를 spin coating 후, 노광하여 지름 3ㅊmm 의 cavity pattern 을 형성하여 ...