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실리콘 및 사파이어 소재를 이용한 알루미늄의 양극산화 공정에 관한 연구
Fabrication of anodic aluminum oxide on Si and sapphire substrate

등록 2008.09.19 ⋅ 53회 인용

출처 한국재료학회지, 14권 2호 2004년, 한글 8 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 양극산화 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.12.15
알루미늄 Al 소재 대신 실리콘 Si 과 Sapphire 소재을 이용하여 이들 소재위에 AAO 를 형성시키는 공정에 대한 연구를 수행하였다. 공정변수가 형성되는 AAO 의 특성에 미치는 영향을 조사 분석하여 각각의 소재에 대하여 최적의 구조를 갖는 AAO 를 형성