로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 141건
구리의 화학-기계적 평탄화에 대한 글리신과 과산화수소의 영향
Effect of glycine and hydrogen peroxide on chemical-mechanical planarization of copper

등록 2023.10.14 ⋅ 81회 인용

출처 Thin Solid Films, 423호 2003년, 영어 9 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.11.04
구리의 화학적 기계적 평탄화(CMP)는 서브미크론 범위와 다단계 금속화를 생성하는 데 필수적인 공정이다. 동적 및 정적 제거 속도 측정뿐만 아니라 전기화학을 사용하는 Cu-CMP 에서 과산화수소를 산화제로 사용하고 글리신을 억제제로 사용하여 Cu 표면의 산화, 용해 및 변형을 이해하는 데 중점을 두었다. 0.1M ...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 3가크롬 글리신욕을 이용한 복합 도금층의 개발
  2. 연구문헌자료.. 금-인듐 합금의 변칙적인 전착
  3. 연구문헌자료.. 무전해 Fe-Ni-B 합금 도금의 석출 및 열 응력에 미치는 글리신 첨가의 영향
  4. 연구문헌자료.. 철-크롬-니켈 합금의 전착
  5. 연구문헌자료.. EDTA 를 포함하는 알칼리 구리 용액의 스테인레스 스틸 기판에 대한 구리 코팅의 전착 및 특성 분석
  6. 연구문헌자료.. 구리의 전기화학적-기계적 평탄화 : 전해질에 있어서 표면층의 전압 제어 제거에 대한 화학 첨가제의 효과
  7. 연구문헌자료.. 구리의 화학적 기계적 평탄화에 있어서 글리신의 역할
  8. 연구문헌자료.. 다양한 pH의 글리신 함유 욕에서 니켈 전기도금
  9. 도금기술노트.. 글리신
  10. 연구문헌자료.. 피로인산염-글리신욕에서 Ni, Sn 및 Ni-Sn 합금 피막의 전착
  • 환원 ㆍ Reduction 음극 (도금하는 제품) 의 표면을, 도금액중의 금속이온 (금속이 도금액에 용해되는 형태) 이, 직류전류 (전자) 에 의하여 이온으로(전하를 잃는다) 금속...
  • 탄소 섬유 강화 수지 ^ Carbon Fiber Reinforced Plastics (CFRP) 탄소 섬유와 수지의 복합 재료로 철이나 알루미늄 등의 금속 재료에 비해 가볍고, 고강도ㆍ고탄성률 등 역...
  • 세라믹콘덴서나 마이크로모듈베이스의 전극부등의 세라믹단자 또는 초고진공장치의 전극도입부의 세라믹 진공관등을 만들때, 세라믹표면에 금속막의 피복이 필요하다.
  • 무전해 니켈의 흑화과정에 피막을 조사하여 울트라 블랙피막을 만든다. 광학특성이 더 높은 티타늄 합금의 영향을 조사하여 최적화를 수행하였다. 다양한 작동 조건, 즉 처...
  • 도금용 라크의 설계 ^ Plant to Electroplaying Rack ==== 그림 ==== 일반도금 D < 5 cm 일때 S = 1/8 (3D + 2H + 5) D > 5 cm 일때 S = 1/4 (H + 10 ) 광택니켈도금 S 의 1...