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구리의 화학적 기계적 평탄화에 있어서 글리신의 역할
The Role of Glycine in the Chemical Mechanical Planarization of Copper

등 록 2023.08.24 ⋅ 85회 인용

출 처 Electrochemical Society, 149권 6호 2002년, 영어 10 쪽

분 류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.08.24
화학 기계적 연마 (CMP)는 구리 상호 연결을 포함하는 집적 회로 생산에 필수적인 공정이다. 구리 CMP 에 사용될 수 있는 대표적인 반응성 슬러리에서 글리신의 역할은 작용 메커니즘에 대한 이해를 높이기 위한 목적으로 연구하였다. 실험적으로 측정된 분극 곡선은 구리-물 및 구리-물-글리신 시스템에 대한 전위-pH 다이...

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