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ULSI의 무전해 구리 석출
Electroless copper deposition for ULSI

등록 : 2023.12.13 ⋅ 24회 인용

출처 : Thin Solid Films, 262호 1995년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 전기도금통합 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.12.18
집적 회로 응용을 위한 금속화 방법으로서 무전해 구리 도금 공정을 검토하였다. 화학 용액 및 반응 열역학뿐만 아니라 최소 치수가 0.1~1.0 cm 사이인 평평한 표면과 패턴화된 표면에 도금하기 위한 석출 동역학을 검토하였다. 무 나트륨 구리 도금을 위한 무 알칼리 욕의 개발이 제시되고, 도금 피막의 저항을 최소화하기 ...
  • 탄산니켈 · Nickel Carbonate 연녹색의 분말로 보통은 염기성탄산니켈로 존재한다. 물에는 녹지 않으나 산성수에는 용해하여 6수염의 수용액이 된다. NiCO3 = 118.7 g/mol C...
  • 일반적으로 팔라듐, 은 및 기타 귀금속을 활성화제로 사용하는 기존 탄소섬유 표면 전처리는 표면 활성을 증가시킨다. 금속화를 위한 산화환원 반응을 시작함으로써 비용이 ...
  • 3가크롬, 포름산이온을 착화제를 포함하는 도금액과 포름알데하이드, 글리옥살, 포름알데하이드 비설파이트, 글리옥살 디바이설파이트로 구성된 그룹에서 선택된 환원제를 ...
  • 알칸설폰산 솔더(납땜)욕 ^ Alkansulfonic Tin-Lead alloy plating 유기산석 납땜욕 [알칸설폰산] CH3CH(OH)CH2SO3H, [알카놀설폰산제일주석] 〔CH3CH(OH)CH2SO3〕2Sn, [알...
  • 크로메이트 대체 처리의 개발을 목표로하여 분자 중에 2개의 염기그룹을 갖는 화합물과 분자 내에 하나의 염기 그룹과 1개의 산 그룹을 갖는 화합물의 아연에 대한 백청방지...