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FTIR ATR법에 의한 무전해 구리도금욕 중의 욕성분의 모니터링
Monitoring of the composition of electroless copper plating bnaths by FTIR ATR spectrometry

등록 2010.05.31 ⋅ 93회 인용

출처 회로실장학회, 10권 4호 1994년, 일어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.11.11
EDTA를 착화제로한 무전해 구리도금욕의 기본 욕성분인, EDTA, 포르마린, 도금반응등에 따른 부생성물인 메탄올, 기산 및 구리염의 보급에 따라 축적되는 황산염을, FTIR ATR법으로 모니터링하는 방법에 관한검토

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