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SnCl4 가수분해 반응의 화학증착법에 의한 SnO2 박막의 제조 및 가스센서 특성(2)
Preparation of SnO2 thin films by chemical vapor deposition using hydrolysis of SnCl4 and gas sensing charateristics of the film(2)

등록 2008.09.11 ⋅ 100회 인용

출처 한국표면공학회지, 23권 3호 1990년, 한글 16 쪼4

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 기술자료기타 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.02.18
화학증착법으로 Si-wafer 위에 증착된 SnO2 박막들에 대하여 주로 박막의 두께 및 박막의 전기비저항이 수소, LPG 가스에 대한 감도특성에 미치는 영향을 조서