도금 첨가제 제조 원료약품 - 갈바니 치환을 이용한 금속층의 무전해 도금방법

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갈바니 치환을 이용한 금속층의 무전해 도금방법

등록 2008.08.16 ⋅ 55회 인용

출처 한국특허, 2007-0717336, 한글 10 쪽

분류 특허

자료 웹 조사자료

저자

임현의¹⁾ 김완두²⁾

기타

자료

분류 갈바닐치환닐 ⋅ 금속입자증착 ⋅

자료요약

카테고리 : 치환도금 | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2014.08.26

반도체를 금속이온이 함유된 용액에 담가 갈바닐 치환을 이용하여 표면에 금속입자를 증착하는 단계 를 포함하는 갈바니 치환을 이용한 금속층의 무전해 도금방법에 관한 것

다마신 구리 전기도금에서 전기화학 조건

• 다마신 기능 채우기 및 레벨링 • 구리전기도금 문제 • 피처 크기가 다마신 Cu 도금에 미치는 영향 감소 다마신 필 기술 개선을 위한 과제 • 32nm 이하 기능을위한...
펄스도금에 의한 결정/비정질 Co-Fe-P 연자성 다층막의 제작

직류도금법으로 코발트-철-인 Co-Fe-P 박막을 만들어, 결정상과 비정지상이 성막가능한 조건을 밝기고, 펄스도금법에 의한 결정상과 비정질상이 되는 다층막을 만들어, 자기...
Co-Fe-P 합금의 무전해 석출에 대한 황산철의 효과

환원제로서 차아인산소다, 완충제로서 붕산 및 착화제로서 구연산소다을 함유하는 알칼리성 도금욕으로 부터의 코빌트-인 Co-P 합금 및 코발트-철-인 Co-Fe-P 합금의 무전해...
SiC 의 직접 무전해 도금

금 나노입자를 촉매로 사용하여 단결정 4H-실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼에 직접 무전해 도금하는 새로운 방법을 개발하였다. SiC 상의 금 나노입자는 Hg-Xe 쇼트 아크 램프...
흑연 입자의 분산 안정화

비전도체를 전기도금하기 위한 베이스와 같은 다양한 목적으로 사용되는 전도성 분산액에 관한 것이다. 분산액은 반복되는 아릴켄옥사이드 그룹과 12를 초과하는 친수성-친...