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검색글 MEMS 13건
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Pstation Data Box · 2019 ⋅ S.I.HONG ⋅
습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...

MEMS는 Micro Electro Mechanical System을 일컫는 말로써 Micro 크기의 전기적 힘에 해 기계적 구동이 가능한 장치의 총칭이다. MEMS 의 응용분야는 Sensor 나 Actuator, 기적 구조물과 우주항공 및 의학분야 까지 그 범위가 확대되고 있다. 최근에는 이런 EMS 제작기술의 하나인 LIGA와 LIGA-Like...

니켈/합금 · Phicom · na · 이상유 · 참조 36회

철-니켈 Fe-Ni 합금도금 공정을 MEMS 기술에 적용하기 위한 기초 연구로서, UV-LIGA 를 이용하여 다양한 형상과 조성을 가지는 Ni-Fe 합금 미세구조물을 제작하고, 전주도금시 도금액내의 금속이온 농도비, 전류밀도, 교반속도, pH, 온도, 펄스정류 등의 전해조건들이 합금 구조물의 특성을 지배하는 합...

합금/복합 · 대한금속재료학회지 · 42권 9호 2004년 · 김준우 · 김대룡 참조 43회

마이크로 빔 구조물의 공진 특성및 릴리즈후의 변형을 이용하여 전해 도금된 금 Au 구조물의 기계적 특성을 측정

금은/합금 · 전기학회지논문 · 50권 2호 2001년 · 백창웅 · 김용권 외 .. 참조 35회

일반적인 전기도금셀은 양극, 음극, 금속 수용액 및 전원 공급 장치로 구성된다. 단순화된 예에서 희생양극은 니켈로 만들어지고 음극은 다른 전도성 물질로 만들어지며 금속수용액은 니켈(Ni2+), 수소(H+) 및 황산염 이온 (SO42-)으로 구성된다.

니켈/합금 · Web Search · na · Jack Judy · Paulo Motta 참조 44회

전기 주조 플라스틱 마이크로 몰드의 신속한 복제를 가능하게하는 새로운 기술이 제시하였다. 이 기술은 마이크로 스크린을 핫 엠보싱 또는 사출 성형 공정에 통합하여 전도성베이스와 절연 측벽이있는 희생 금형을 생성한다. 연속 및 비 연속 피처 모두 이러한 주형에서 전기 성형 할 수 있다. 마이크...

전기도금기타 · Sandia National Laboratories · na · Linda A. Domeier · Marcela Gonzales 외 .. 참조 41회

미세금형등의 제작에 이용되는 마이크로머신기술에 관하여 설명하고, 반으예와 최신의 MEMS에 있어서 전주기술에 관하여 소개

전기도금기타 · 표면기술 · 55권 4호 2004년 · Manabu YASUI · Yasuo HIRABAYASI 외 .. 참조 33회

도금기술의 새로운 용도개발을 목적으로 LIGA 프로세스를 응용하여 초미세가공기술로 저열팽창성이나 자성특성을 가진 고경도 니켈-철 합금도금 기술의 응용예를 소개

전기도금기타 · 표면기술 · 55권 4호 2004년 · Yasushi MIZUTANI · Tomio NAGAYAMA 참조 38회

무전해 도금된 자성박막에 대한 기능적 특성의 기울기 제어에 대한 시도를 개괄하여 전기화학 공정을 통해 기능적으로 등급이 지정된 박막을 제조하는 방법을 소개했다. 적절한 초박형 언더 레이어를 사용하여 무전해 CoNiP 필름의 보자력 Hc를 필름 두께 방향으로 제어했다. 증착동안 기판의 회전 속도...

도금자료기타 · 표면과학 · 22권 6호 2001년 · Takayuki HOMMA · Tetsuya OSAKA 외 .. 참조 49회

나노구조 형성방법으로 전해/무전해 공정의 특징과 실제예를 소개하고, 고밀도 실장기술과 다마신 프로세스, MEMS 관련기술에 관하여 다양한 설명

도금자료기타 · 표면기술 · 53권 12호 2002년 · Takayuki HOMMA · Hideo HONMA 참조 26회

미세 가공 기술 -벌크 마이크로 머시닝 -표면 미세 가공 -후막 미세 가공 -플라스틱 / 유리 마이크로 머시닝

기술자료기타 · KAIST · 2003 · 윤준보 · 참조 19회