초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
무전해 Cu는 고급 통합 장치의 잠재적인 BEOL (back-end-of-the-line) 금속화를 위해 플라즈마 보조 원자층 증착 팔라듐 층을 갖춘 내화 금속, WandTaNX 및 Ir 귀금속 기판에 대해 조사하였다. 나트륨 및 칼륨이 없는 Cu 무전해욕은 킬레이트제인 에틸렌디아민 테트라아세트산(EDTA), 환원제인 글리옥실...
구리/Cu
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Electrochimica Acta · 2005년 · Young-Soon Kim ·
Hyung-Il Kim
외 ..
참조 39회
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구연산-암모니아 매체로 부터 코팅된 Ni-W 합금의 전기결정화와 부식 거동에 대한 피리딘의 영향
구연산염-암모니아 매체에서 구리소재의 Ni-W 전착의 코팅 형태, 구성 및 결정학적 배향에 대한 피리딘의 영향을 조사하였다. 제조된 Ni-W-Pyr 층은 더 부드럽고, 더 작고, 더 미세한 입자 크기를 가졌다. 전기 전도성, 미세경도, 다공성 및 억제 효율을 고려하여 다양한 도금을 3 % NaCl 에 5시간 침지...
합금/복합
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Applied Surface Science · 263호 2012년 · W. Sassia ·
L. Dhouibi
외 ..
참조 29회
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