액체 크로마토그라피에 의한 산성 구리 도금욕에 있어서 부산물과 첨가제의 분석
구리 전기도금 시스템은 반도체 웨이퍼에 구리를 도금하는데 사용된다. 산성구리 도금욕의 주요 성분은 황산구리, 황산 및 염산이다. 구리 도금품질에 영향을 미치는 다양한 첨가제가 사용 된다. 도금액이 노화됨에 따라 도금공정의 결과로 특정 부산물이 형성 된다. 순환 전압전류법 제거 (CVS) 는 도...
시험분석
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Dionex Corporation · Application Note 139 · Dionex ·
참조 47회
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