물 수용체 확산의 관찰을 통한 구리 전기화학 연마 기구의 연구
기존 및 새로운 전기화학 분석 방법을 사용하여 Cu 전기화학 연마의 메커니즘과 거동을 조사하였다. Cu 용해의 경우 연마 유무에 따라 LSV(linear scan voltammetry)와 SEM(scanning electron microscopy) 결과로 분류하였다. EIS(Electrochemical Impedance Spectroscopy) 결과는 이 두 경우의 주요 차...
연마/연삭
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Frontiers in Chemistry · 9권 10호 2021년 · Kimoon Park ·
Jinhyun Lee
외 ..
참조 28회
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