전기도금법을 이용한 FCCL용 구리박막 제조시 레벨러의 영향 연구
전자산업의 고용량을 구현하기 위해구동 drive IC 의 선폭은 좁아지고 집적도는 증가하여 FCCL (Flexible Copper Clad Laminate) 의 표면품질이 더욱 중요해지고 있다. FCCL 의 표면 결함으로는 돌기, 스크레치, 덴트 등이있다. 특히 돌기가 표면에 존재할 경우 후속공정에서 쇼트와 같은 불량을 유발할...
응용도금
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마이크로 페키징학회지 · 19권 2호 2012년 · 강인석 ·
구연수
외 ..
참조 19회
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