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무전해 도금에서 알데하이드 환원제의 산화기구의 문헌 연구
Density Functional Theory Study on the Oxidation Mechanisms of Aldehydes as Reductants for Electroless Deposition Process

등록 2009.06.05 ⋅ 42회 인용

출처 Electrochem, na, 영어 1 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 도금자료기타 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.16
무전해 구리도금에 사용되는 환원제로 알데하이드에 중점을 두었다. 알데하이드, 즉, 포름알데하이드 (HCHO), 아세트 알데하이드 (CH3CHO) 및 글리옥실산 (COOHCHO) 의 산화 메커니즘을 조사하여 반응과정에 대한 작용기 효과를 연구하였다.
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  • 새로운 구리도금액 화학물질은 반도체 웨이퍼의 서브미크론 형상으로 구리를 도금해야 하는 새로운 요구를 충족시키기 위해 개발되고 있다. 이러한 케미스트리는 가장 까다...