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Pd 혼합촉매를 대신한 무전해 도금용 구리 혼합촉매의 검토
Evaluation of Tin-Copper Mixed catalyst for replacement of Tin-Palladium Mixed catalyst for electroless plating

등록 : 2009.07.21 ⋅ 29회 인용

출처 : 표면기술, 59권 9호 2008년, 일어 5 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.08
무전해구리도금욕에 대하여 자기촉매성이 있는 구리를, 직접절연수지상에 촉매핵으로 부여하고, Pd 나 Ag 에 비하여 저렴하고, 배선형성공정에서 용해제거가 용이한 Cu 혼합촉매용액의 개발을 목적으로한 보고서