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히드라진과 차아인산의 혼합도금욕에 의한 미세배선상의 무전해니켈 도금
Electroless Nickel plating on the fine pattern using mexed plating bath conntaing hydrazine and hypophosphite

등록 2010.04.29 ⋅ 75회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 10권 1호 2007년, 일어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.16
히드라진의 구리상의 촉매활성에 주목하여 환원제로 히드라진과 차아인산을 혼합병용한 무전해 니켈도금의 욕조성을 검토하여, 선택석출성 및 초미세 배선의 적용성에 관하여 검토한 보고서 NiCl2 6H2O NaH2PO2 H2O CH2NH2COOH H3BO3 H2NNH2 0.05 mol/dm3 0.0-1.0 mol/dm3 0.40 mol/dm3 0.50 mol/dm3 0.40 mol/dm3 Bath temp...

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