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저농도 설파민산욕에서의 니켈도금 피막의 특성과 MEMS에의 응용
Properties of Electroplated Nickel Film from Low Concentration Sulfamate Baths and Its Application to MEMS

등록 2016.03.18 ⋅ 61회 인용

출처 일렉트로닉스실장학회지, 14권 1호 2011년, 일어 8 쪽

분류 연구

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기타

低濃度スルファミン酸浴からのニッケルめっき皮膜の特性とMEMSへの応用

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.17
도체장치 및 MEMS 용 센서는 니켈도금이 많이 이용되고 낮은 응력과 고경도 피막이 요구된다. 이에 적합한 니켈도금은 낮은 내부응력 높은 인장력을 갖는 설파민산니켈도금욕이다. 설파민산 니켈욕을 기본으로 하고, 전류밀도, 욕 pH, 온도, 금속염 농도를 변화시켜 도금피막 물성에 미치는 영향을 조사했다. 그...
  • 개선된 구리도금욕 및 방법은 하나 이상의 에피 할로 히드린을 치환된 피리딘, 퀴놀린, 이소 퀴놀린 또는 벤즈이미다졸 일수 있는 하나 이상의 질소 함유 화합물과 반응시켜...
  • 고온 보호층으로서 백금-이리듐 합금은 직류방법에 의해 아미도 황산용액으로부터 니켈기반 단결정 초합금 TMS -82+ 위에 전기도금되었다. 피도금재의 이리듐 Ir 함량은 전...
  • 기상도금 ^ Chemical Vapor Deposition 넓은 의미로 [PVD]ㆍ[CVD] 를 포함하지만, 보통 CVD 를 말한다 참고 [건식도금] [이온프레이팅]
  • 피로인산구리 스트라이크 도금 ^ Copper Pyrophosphate Strike Bath 철강 구리 소재 등의 밀착력 향상용 16 g/l 피로인산구리 120 g/l 피로인산칼륨 10 g/l 옥살산칼륨 으로...
  • 하링셀 (Haring Cell) 을 이용하여 광택 영향이 있는 인자와 시안화구리 농도, 유리 시안화칼륨, 수산화칼륨, 탄산칼륨, 광택제, 온도 등에 관하여 연구