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전기도금 된 Cu 필름 특성에 미치는 피로인산구리용액의 화학성분의 영향
Influence of Chemical Composition of Pyrophosphate Copper Baths on Properties of Electrodeposited Cu Films

등록 2017.09.18 ⋅ 37회 인용

출처 한국전기화학, 18권 1호 2015년, 한글 10 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.16
FPCB 의 원재료인 FCCL 제조에 사용되 는 Cu 필름을 전기도금 공정을 이용하여 제조하기 위 한 기초연구이다. 이를 위하여 피로인산구리 도금용액 을 사용하여 전기도금공정으로 Cu 필름을 제조하였다. 피로인산구리 도금용액 중의 Cu2+ 농도, K4P2O7 농도, 첨가제(PYROCAP) 농도를 변화시켜 전기도금 된 Cu 필름의 잔류응력...