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마이크로머신 구조용 NiFeMo 전기도금욕
A NiFeMo Electroplating Bath for Micromachined Structures

등록 2009.01.16 ⋅ 37회 인용

출처 Elec. Solid-State Letters, 2권 12호 1999년, 영어 3 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.10.04
다수의 마이크로 머신 자기센서 및 액추에이터에는 수 마이크로 미터 범위의 높은 투자율 및 두께와 같은 바람직한 자기 특성을 가진 재료가 필요하다. 자기저장 응용분야에서 적절한 자기 특성을 가진 재료가 보고되었지만, 종종 미세가공된 센서 및 액추에이터에는 불충분한 두께범위가 있다. 우리는 높은 투과성, 낮은 보...

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