로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11106건

습식도금 자료분류

자료수 11107 건

추천글

Tag LIST

ULSI 구리배선의 형성을 목적으로 한 에텔렌디아민 착화욕에서의 구리전석
Electrodeposition of copper from ethylenediamine complex bath for ULSI metallization

등록 2010.02.08 ⋅ 50회 인용

출처 표면기술, 50권 7호 1999년, 일어 5 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

자료

분류 ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.26
분극저항이 큰 에틸렌디아민 착화욕에서의 구리 전석에 관하여, 유기유황계 첨가제를 사용하지 않고, [[균일전척성] 및 물성이 우수한 구리판을 만드는 조건의 확립과, LSI 구리배선 형성의 적용 가능성을 검토

연관글

  1. 연구문헌자료.. 비 씨드형 유동층 과립화 공정에 의한 시뮬레이션된 무전해 구리도금 폐 수세수로 부터 구리회수에 대한 EDTA 및 CH2O의 효과
  2. 연구문헌자료.. 메탄설폰산욕에서 구리의 무전해 석출에 대한 녹색 복합화제의 효과
  3. 연구문헌자료.. 표면 거칠기와 도금속도를 기준으로 안정제 없는 무전해 NiB 석출의 최적화
  4. 연구문헌자료.. 이중 리간드 방법에 있어서 무전해 구리에 대한 PEG 6000의 효과
  5. 도금기술노트.. 에틸렌디아민
  6. 도금기술노트.. Q75
  7. 연구문헌자료.. FTIR ATR법에 의한 무전해 팔라듐-인 합금 도금욕중의 욕성분의 모니터링
  8. 연구문헌자료.. 안정제로 에틸렌디아민을 포함하는 용액으로부터 펄스 도금에 의해 동시 전착 전기도금된 금-주석 땜납 합금의 구조 및 조성
  9. 연구문헌자료.. 비암모니아 팔라듐 Palladium 도금 특성 연구
  10. 연구문헌자료.. 유기 부식억제를 사용한 3M 질산용액에 있어서 구리와 구리합금의 부식 억제제
  • 발암물질 (Carcinogen) 임에도 불구하고 금속표면처리 및 부식방지제로 긴요하게 쓰이고 있는 크롬 (6가) 화합물의 청정대체 물질개발과, 개발된 청정 대체 물질을 이용하여...
  • 니켈 스트라이크 도금액 분석 Nickel Strike Bath Analysis 염화니켈 도금액 2 ㎖ 를 정확히 취한다. 물 50 ㎖ 를 가하고 진한 암모니아수로 액이 청색이 될 때까지 가한다....
  • 원자흡광법과 CVS 법에 의한 알칼리액중 미량금속 분석
  • 페라이트소재 표면에 무전해도금을 하고 있으나, 도금의 밀착강도가 나오지 않습니다. 페라이트소재의 표면을 에칭처리 하고 는데, 다른 방법으로 밀착강도를 좋게하는 방법...
  • 전해도금외에 부가 공정용으로 사용되는 몇가지 전기화학적 박막 형성 방법인 무전해도금 및 치환도금에 관하여 설명