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에칭기술을 구사한 미세한 구조 만들기
Overview of etching process for fabricating microstructures

등록 2008.09.24 ⋅ 42회 인용

출처 표면기술, 59권 2호 2008년, 일본어 4 페이지

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.02.02
포토리소그라피와 조합한 에칭가공기술에 관한 설명
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