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산성 구리 도금욕에 있어서 염화물의 측정
Determination of chloride in acid copper plating bath

등록 2022.02.20 ⋅ 34회 인용

출처 Thermo Fisher, AU72540-EN 1017S, 영어 3 쪽

분류 기타

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.05.30
이온 크로마토그래피(IC)는 산성구리도금욕에서 염화물 측정을 위한 편리한 방법을 제공한다. 이 도금욕은 반도체 웨이퍼에 구리를 전착하는 데 사용된다. 염화물 농도 모니터링은 구리 전착 품질에 중요한 역할을 하기 때문에 중요하다. 산성 구리욕에는 일반적으로 황산구리, 황산, 염산 및 다양한 첨가제가 포함되어 ...
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