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마이크로패브리케이션과 도금
Microfabrication using plating technologies

등록 2008.09.10 ⋅ 49회 인용

출처 표면기술, 52권 1호 2001년, 일어 2 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 종합자료 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2016.03.18
습식성막법에 의한 마이크로패브리케이션과 미세한 영역의 나노패브리케이션에 관하여 해설