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프래시 전해연마를 이용한 FIB 시료제작

FIB Sample Preparation Using Flash Electropolishing

등록 : 2023.05.02 ⋅ 152회 인용

출처 : 표면기술, 73권 11호 2022년, 일어 3 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Shun SHIMABUKURO¹⁾

기타 :

フラッシュ電解研磨を用いた FIB 試料作製島袋瞬 a

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자료요약

카테고리 : 연마/연삭 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.05.02

플래시 전해연마 (단시간의 전해 연마) FIB 시료에 형성된 데미지를 제거할 수 없는지 평가하였으며, 평가에서 사용한 시료는 미리 표면에 중 이온 조사를 실시한 지르코늄 합금이다. 본 보고에서는 실패예를 포함한 일련의 평가에 대해 소개하였다.

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