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비포름알데히드 무전해 구리 도금욕으로부터 유전체 상의 구리 코팅 획득
Obtaining of Copper Coatings on Dielectrics from Non-Formaldehyde Electroless Copper Plating Bath

등록 2023.08.14 ⋅ 42회 인용

출처 European Union, 2018, 영어 3 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.08.14
상업용 무전해 구리 도금액은 포름알데히드 또는 그 파생물을 환원제로 사용하고 pH 11 이상에 사용한다. 높은 pH는 일부 유전체 또는 포토레지스트 재료와 호환되지 않는다. 약알칼리성 pH를 갖는 비포름알데히드 무전해 구리 도금 용액을 개발하였다. 석출 속도에 대한 pH 값과 용액에 대한 니켈 이온 첨가의 영향을 조사...

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