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ULSI의 무전해 구리 석출
Electroless copper deposition for ULSI

등록 : 2023.12.13 ⋅ 26회 인용

출처 : Thin Solid Films, 262호 1995년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 전기도금통합 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.12.18
집적 회로 응용을 위한 금속화 방법으로서 무전해 구리 도금 공정을 검토하였다. 화학 용액 및 반응 열역학뿐만 아니라 최소 치수가 0.1~1.0 cm 사이인 평평한 표면과 패턴화된 표면에 도금하기 위한 석출 동역학을 검토하였다. 무 나트륨 구리 도금을 위한 무 알칼리 욕의 개발이 제시되고, 도금 피막의 저항을 최소화하기 ...
  • 와트 Watt 욕에서 니켈도금시 잔류응력이 적은 막을 만들기위한 PR 전해조건, 특히 아노드 전류밀도의 영향에 관하여 검토.
  • 대기업들은 획기적인 탈에너지 창에너지 대책의 추진과 , 그 결과를 착실하게 진행하는데 비하여 중소기업들은 대부분 코스트인상용인을 자체 흡수하기가 어렵고, 그것을 과...
  • -촉매 필터 제어 디젤 엔진 배기 -백금 그룹 원소의 광물학에 대한 결정적인 연구 -무전해 도금용 주석-팔라듐 촉매 -로듐 카복시레이트 착화제 -팔라듐-수소 시스템 -백금...
  • 수산욕의 비전도도에 있어서 전크롬농도, 6가크롬이온농도, 황산암모늄농도, pH등의 영향, 비전도도와 욕전압의 관계에 관하여 설명
  • 아연을 코발트 Co, 니켈 Ni 및 철 Fe 와 같은 소량 (약 1 이트륨 Yo) 의 전이금속 원소와 합금하면 내식성을 개선할수 있다. 1.5 Yo 이하의 전이금속을 함유하는 아연-철 Zn...