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황산구리 도금액중 염화물의 분석
Determination of Chloride in Acid Copper Plating Bath

등록 2009.05.10 ⋅ 81회 인용

출처 Dionex, Application 143, 영어 4 쪽

분류 해설, 기타

자료 있음(다운로드불가)

저자

na1)

기타

Fisher Scientific, 711 Forbes Avenue, Pittsburgh, PA

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.20
이온 크로마토그래피(IC)는 산성 구리도금조에서 염화물을 측정하는 편리한 방법을 제공한다. 이욕은 반도체 웨이퍼에 구리를 전착하는데 사용된다. 염화물 농도 모니터링은 구리 도금품질에 중요한 역할을 하기 때문에 관심이많다. 표준 습식화학 기술에 비해 IC는 이 분석에 대해 향상된 속도와 정확도를 제공한다. 산성구...