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구리 다마신 화학작용의 전기화학 임피던스 관찰
Electrochemical Impedance Monitoring of Copper Damascene Chemistries

등록 : 2011.07.29 ⋅ 69회 인용

출처 : NA, NA, 영어 14 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Alan Zduneka1) Delia Nieto Sanzb2) Claude Gabrielli3) Philippe Moçoteguy4) Hubert Perrot5) Hung Ming Chen6) Satish J. Parulekar7)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.07
초등각 도금을 통해 구리를 서브미크론 피처에 도금할수 있는 유망한 전기적특성과 기능은 구리전기도금 기술을 반도체 금속화 공정의 주류로 가져 왔다. 그러나 비아 및 트렌치에서 구리의 초등 각 도금을 수행하는 능력은 황산구리/황산 기반 전기도금조에 대한 특정 유기첨가제에 크게 좌우된다. 무결점 도금을 위해...
  • 와트욕과 설파민산욕을 사용한 니켈 도금액에서 와트욕의 pH 는 사용중 조금씩 상승하나, 설파민산 니켈욕은 전혀 변하지 않습니다. 이 이유는 무엇 입니까?
  • 금 Au(i) 및 주석 Sn(ii) 을 주성분으로한 피로인산칼륨욕에서 금-주석 합금도금에 관하여, 합금조성, 캐소드 전류효율 및 합금도금의 표면형태에 있어서 전해조건의 영향을...
  • 크롬산 크로메이트 ^ Chrome Chromate 금속도금의 크롬산 크로메이트 처리는, 아연도금 강판에 백청 (염기성 탄산아연) 의 발생을 방지하거나 도막 밀착성의 향상 또는 주석...
  • 무전해구리도금을 위한 수용성 알칼리 구리 도금조, 상기조는 구리이온, 구리이온과 착물을 형성하는 화합물, pH 를 약 12~13 으로 조정하기 위한 알라린, 포름알데하이...
  • 페인트베이스 처리의 목적은 고성능 페인트의 성능을 최대한 활용하는 것이며, 잘못 처리된 금속 표면이 귀중한 페인트의 일부를 손상시킬뿐만 아니라 예상치 못한 페인트 ...