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산성구리 도금액중의 서프레서 첨가제의 측정
Determination of the Suppressor Additive in Acid Copper Plating Bath

등록 : 2009.05.19 ⋅ 68회 인용

출처 : Deonix, Application Note 145, 영어 2 쪽

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.16
구리 전기도금 시스템은 반도체 웨이퍼에 구리를 도금하는데 사용한다. 산성구리 도금조의 주요 구성 요소는 황산구리, 황산, 염산이다. 독점적인 억제 첨가제가 구리 도금품질에 영향을 미치는 데 사용된다. 순환 전압전류법 박리 (CVS) 는 도금 품질에 대한 첨가제 및 부산물의 결합 효과를 측정하는데 널리 사용된다. 그...
  • 6가크롬 폐기물은 공장의 처리공정에서 화학적으로 3가크롬으로 환원 되어야 한다. 이로 인해 이산화황, 메타중아황산나트륨 또는 중화붕소산소다와 같은 값 비싼 화학물질...
  • 금속제품 표면의 세정에 사용되는 알칼리성 탈지제의 수용액 및 알칼리성 탈지 용액의 보충 및 보충에 사용되는 알칼리성 탈지제의 수용액에 관한 것이다. 이들 알칼리 탈지...
  • 새로운 무전해 도금액 조성 및 그 사용 방법은 전자칩의 직접 부착을 용이하게 하기 위해 양극산화 처리된 알루미늄 소재상에 니켈층을 도금하는 방법에 대해 설명한다. 욕...
  • 황산욕에서 아연-코발트 Zn-Co 합금도금에 관하여, SS 에 의한 부식과정을 만드는 부식생성물을 SEM, X선회절, XPS 등으로 조사하여, 자연전위 곡선의 측정에 의한 부식...
  • 아연 전기도금 작업에서 폐수배출을 제로화 하고 회수된 침전의 전체 재활용을 달성하기 위한 연구가 수행되었다. 이 프로젝트의 첫 번째 단계는 기존의 아연 시안화물 (CN)...