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황산 수용액에 있어서 석출과 구리 용해에 대한 아릴 티오우레아의 효과에 관한 SERS과 EQCM의 연구
SERS and EQCM studies on the effect of allyl thiourea on copper dissolution and deposition in aqueous sulfuric acid
자료 :
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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.12
순환 전압전류법 (CV) 과 전기화학적 석영 결정 마이크로 밸런스 (EQCM) 연구 및 표면강화 라만분광법 (SERS) 을 결합하여 수성 황산에서 구리의 전착 및 전기용해에 대한 아릴티오우레아 (ATU) 의 효과를 조사했다. 결과는 2- 전자전달반응이 SCE 대비 전위범위 -0.65 ~ 0.05 V 에서 ATU 를 포함하지 않는 1.0 M H2SO4 용액...
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A.Vaskeis 의 비본적개념을 참고하여 현행의 무전해 구리도금과 다른 구성성분과 석출기구를 기반으로한 도금욕으로, 실리콘웨이퍼상의 콘택트홀내에 구리를 충진하는 방법...