화학적 방법에 의한 알루미늄의 미세 형상 제어에 관한 연구
알루미늄 Al 1050 sheet 의 화학연마를 통한 cavity 형성을 시도하였다. 실험결과의 정량적인 평가를 위해 cavity depth 400 ㎛ 이상, cavity uniformity 5 ㎛ 이하, 표면조도 1 ㎛ 이하로 목표치를 정하였다. Al 시편은 AZ P4330 RS photo resist 를 spin coating 후, 노광하여 지름 3ㅊmm 의 cavity p...
연마/연삭
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인하대학교 · 2008년 2월 · 안택진 ·
참조 11회
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