마이크로 센서 및 마이크로 액츄에이터용 전기도금 연자성 재료
높은 투과성, 낮은 보자력 재료인 니켈-철-몰리브덴 NiFeMo 합금 전착을 위한 전기도금욕 개발을 보고하였다. 이 도금액을 사용하여 NiFeMo 합금을 최대 5 μm 두께로 전착시킬수 있다. 또한 니켈-코발트 NiCo 연자성 합금의 사용과 향상된 자기성능을 위한 NiCo 및 NiFe 적층 피막의 사용을 보고하였다.
전기도금기타
·
Transducers · Jun 1997 · William P. Taylor ·
Michael Schneide
외 ..
참조 12회
|