질화 탄탈룸 층 박막에 대한 무전해 구리 입자층 석출
무전해 도금된 구리 Cu 의 특성에 대한 도금시간 및 어닐링의 영향. Cu 박막의 미세구조는 입자크기, 표면형태 및 결정학적 질감과 같은 미세구조 속성이 피막의 기계적 및 물리적 특성에 미치는 영향으로 인해 최근 연구의 대상이 되었다. 후속 전해 Cu 피막의 신뢰성을 위해서는 Cu 시드층의 우수한 ...
구리/Cu
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Surf. Coat. Tech. · 198호 2008년 · S.P. Chong ·
Y.C. Ee
외 ..
참조 27회
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