존 플레이트 나노구조의 제어된 전기도금을 위한 소형 아황산염 기반 금욕
금으로 만든 X선 존 플레이트는 X선 영상 실험에 사용되는 일반적인 광학 부품이다. 일반적으로 전자빔 리소그래피와 시안화욕을 사용한 금 전기도금으로 제작된다. 소형화된 금-아황산욕에서 금 전기도금 공정을 실험하였다. 잘 정의된 크기의 온칩 기준 소형 도금 영역으로 가능하며, 제작된 골드 존 ...
금은/합금
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micromachines · 13권 2022년 · Hanna Ohlin ·
Thomas Frisk
외 ..
참조 7회
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