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피로인산 구리용액으로 부터 전기도금된 구리 (Cu) 필름의 특성에 미치는 도금조건의 영향
Effect of Deposition Conditions on Properties of Cu Thin Films Electrodeposited from Pyrophosphate Baths

등록 2014.01.16 ⋅ 39회 인용

출처 한국전기학회, 16권 1호 2013년, 한글 11 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2023.12.11
피로인산구리용액에서 전기도금 공정을 이용하여 상온과 55 ℃ 에서 각각 제조된 구리 Cu 박막의 특성에 미치는 전류밀도, 도금용액 온도, pH의 영향에 대한 연구를 수행하였다. 전류효율은 전류밀도가 증가함에 따라 감소하였으나, 도금용액의 온도가 증가함에 따라 증가하는 경향을 나타내었다. 그러나 pH 는 전류...

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