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압전소자의 무전해도금을 위한 촉매독 제거 방법

등록 : 2008.09.04 ⋅ 50회 인용

출처 : 한국특허, 2003-0049682, 한글 3 쪽

분류 : 특허

자료 : 웹 조사자료

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자료요약
카테고리 : 무전해도금기타 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.02.18
PZT 소자에 무전해 도금을 수행하기 위한 방법에 있어서, 탈지공정, 에칭공정, 캐탈라이징공정, 엑설러레이팅공정 및 도금공정을 순차적으로 수행하여 PZT 소자에 무전해 도금을 수행하되, 무전해도금공정이전에 pH 9~14 사이의 염기성 용액에 상기 PZT 소자를 0.5~10 분간 침지시킨 후, 수세하는 것을 특징으로 하는 PZT 소...