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초등각 구리 Cu 무전해 도금에 있어서 2-메르캅토-5-벤즈이미다졸 설폰산의 효과
Effect of 2-Mercapto-5-benzimidazolesulfonic Acid in Superconformal Cu Electroless Deposition

등록 : 2014.05.30 ⋅ 23회 인용

출처 : Electrochemical Society, 156권 6호 2009년, 영어 4 쪽

분류 : 연구

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카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.12.02
수퍼콘퍼머 무전해구리도금은 황산구리 CuSO4 - EDTA - HCHO 에서 사용되며 EDTA 는 2-메르캅토 -5-벤즈이미다졸 설폰산 (MBIS) 를 포함하는 에틸렌디아민 테트라아세틱산 전해질 이다. MBIS 는 평면 소재의 도금속도에서 농도 의존적 효과를 나타내며, 저농도에서의 가속과 고농도에서의 억제작용한다. 반세포 반응...