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ULSI 배선을 위한 구리 무전해 도금 전처리 방법 최적화 연구
Optimized surface Pre-treatments for Cu electroless Plating in ULSI device interconnection

등록 : 2008.09.08 ⋅ 46회 인용

출처 : 한국화학공학회, 8권 2호 2001년, 한글 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

차승환, 김재정 / 한국화학공학회 2001 가을 학술대회 vol. 8, No. 2, 4732 (2001)

자료 :

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분류 :
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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.02.18
TiN 전처리과정이 팔라듐 증착에 미치는 영향과 그 후 구리 무전해도금까지 살펴보았으며, 산화막을 식각하기 위해 HF 용액을 사용하였으며, 팔라듐을 증착하기 위해 PdCl2 를 사용하였다.
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  • 무전해도금에 의한 탄화규소 SiC 입자표면을 니켈로 피복하면, 캐소드에 충돌한 입자표면에도 직접 니켈 결정성장이 일어나, SiC 공석율이 증가하여, 크랙 없이 밀착력이 우...
  • DURNI-COAT® is a process for the functional coating of ferrous and non-ferrous materials (Electroless Nickel). The DURNI-COAT® process consists in electroless de...
  • 인산아연 처리기술은 예로부터 발전하여 철기를 시작으로 지금까지 많은 용에 응용 개량되어 왔다. 일본에서의 안산염 처리기술의 공업적 이용이 80년이상 되었다.
  • 단가 이온상태에서 구리를 석출시키기 위한 무시안화물 도금용액은 구리이온원, 2가 구리이온을 단가 구리이온으로 환원시키는 환원제, pH 를 7~10 으로 유지시키는 알칼리 ...