로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 457건

습식도금 자료분류

자료수 10977 건

추천글

Tag LIST

무전해 구리 석출층 특성에서 공정변수의 효과
Effect of processing parameters on electroless Cu seed layer properties

등록 : 2009.07.27 ⋅ 33회 인용

출처 : Thin Solid Films, 462-463 (2004), 영어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Y.C. Ee1) Z. Chen2) L. Chan3) Alex K.H. See4) S.B. Law5) K.C. Tee6) K.Y. Zeng7) L. Shen8)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.11
무전해 구리시드층은 서브마이크론 웨이퍼 기술을 위한 전기도금의 후속 구리 금속화에 필수적이다. 이 층은 좋은 스텝 커버리지와 높은 균일성을 제공하기 위해 필요하다. 현재 작업에서 무전해 구리는 팔라듐에 의해 활성화된 TiN 표면에 도금되었다. 무전해구리 피막의 특성에 대한 도금시간의 영향이 보고되었다. 도금시...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 비 씨드형 유동층 과립화 공정에 의한 시뮬레이션된 무전해 구리 도금 수세수에 대한 구리회수에 대한 EDTA 및 CH2O의 효과
  2. 도금기술노트.. EDTACu
  3. 도금기술노트.. 무전해구리착화제
  4. 연구문헌자료.. 구연산 이온을 함유한 산성욕에서 전착에 의한 Zn-Fe 및 Zn-Fe-Co 합금 피막의 연구
  5. 연구문헌자료.. EDTA 욕에서 무전해 구리 석출에 대한 이성체 디피리딜의 효과
  6. 연구문헌자료.. 3.5 wt% NaCl 용액에 EDTA 안정조가 포함된 전착된 Zn-Ni 합금 필름의 전기화학적 분석
  7. 연구문헌자료.. 초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
  8. 연구문헌자료.. EDTA 를 포함하는 알칼리 구리 용액의 스테인레스 스틸 기판에 대한 구리 코팅의 전착 및 특성 분석
  9. 연구문헌자료.. 알칼리 프리 무전해 구리 도금에 있어서 결정 방향에 대한 계면활성제 첨가 효과
  10. 연구문헌자료.. 알루미나 멤브레인의 무전해 팔라듐 도금에 있어서 팔라듐 전환 최적화