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검색글 Tomi NAGAYAMA 5건
MEMS를 위한 도금/전주기술
Electroplating and electroforming for MEMS

등록 2008.08.04 ⋅ 54회 인용

출처 표면기술, 55권 4호 2004년, 일본어 5 페이지

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MEMSのためのめっき・電鋳技術

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자료요약
카테고리 : 전기도금기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2015.03.22
도금기술의 새로운 용도개발을 목적으로 LIGA 프로세스를 응용하여 초미세가공기술로 저열팽창성이나 자성특성을 가진 고경도 니켈-철 합금도금 기술의 응용예를 소개
  • 소재로 p-형 (100) 실리콘 웨이퍼가 사용되었으며, 활성화 용액의 성분은 Si 의 부식 및 해리된 Si 이온을 안정화 시키기 위한 불산 HF 와 염화팔라듐 PdCl2 용해 및 pH 조...
  • 구리 ㆍ Copper (Cu) 전기전도성이 모든 금속중에 두 번째로 높으며, 연전성과 연성이 뛰어난 금속으로 전기 또는 [무전해도금] 공업에많이 이용된다. [구리도금] [무전해구...
  • 구리-니켈-크롬도금계의 내식성의 평가방법을 확립할 목적으로, 구리 니켈 및 크로모금을 경강판의 단일 전극 및 이들의 도금을 조합한 복층도금전극게의 부식거동을 정전위...
  • 무광택 (사틴) 니켈도금 ^ MAT/Satin Nickel Plating [사틴니켈도금|사틴 니켈도금] ☜ MAT 도금 참고 [니켈도금욕] [전기도금]
  • 화성처리 기술의 최첨단 기술 전반에 대해 설명하고있다. 자동차 바디 전착 도장의 기초로 현재 널리 사용되고있는 것은 인산아연계 이다. 화성처리욕의 조성은 F 이온 첨가...