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Ni-PTFE 미소전주 복합도금을 사용한 LIGA 삽입몰드의 생산
Fabrication of LIGA mold insert using Ni-PTFE composite micro-electroforming

등록 : 2008.08.22 ⋅ 26회 인용

출처 : Conference Series, 34권 2006년, 영어 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Yuhua Guo1) Gang Liu2) Ying Xiong3) Xuelin Zhu4) Wang Jun5), Yangchao Tian6)

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자료요약
카테고리 : 합금/복합 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.08
깊은 X 선 리소그래피와 전기 주조 및 폴리머 성형을 결합한 LIGA 공정은 MEMS를 생산하는 주요 제조 방법이다. 핫 엠보싱은 폴리머 미세 가공의 주요 가공 기술 중 하나이며, 이는 LIGA (UV-LIGA) 기술이 저비용 대량 생산을 달성하는 데 도움이된다. 그리고 더 나은 폴리머 복제품을 얻기 위해서는 핫 엠보싱 중 탈형 공정...