로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 신창회 1건

습식도금 자료분류

자료수 10978 건

추천글

Tag LIST

펄스전착법과 첨가제를 사용하여 전착된 ULSI 배선용 구리박막의 특성
Characteristics of copper film fablicated by pulsed electrodeposition with additives for ULSI interconnection

등록 : 2008.08.22 ⋅ 42회 인용

출처 : 한국전기화학회지, 2권 4호 1999년, 한글 5 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

이경우1) 양성훈2) 이석형3) 신창회4) 박종완 5)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 아연/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2016.03.21
펄스전류와 상업적으로 제조된 첨가제를 결합하여 Via hole 충진특성 및 이에따른 구리 박막의 특성에 대한 연구

연관글

  1. 연구문헌자료.. 은-갈륨 합금의 펄스 전류 전기 도금
  2. 도금재료 카타록/TDS.. COPPER GLEAMTM CuPulse Copper Plating Process
  3. 연구문헌자료.. 다마센스 비아필링의 MPS-PEG 2첨가제 시스템을 사용한 나노트윈드 구리의 펄스 전기도금
  4. 연구문헌자료.. 직류 및 펄스 전류를 사용한 염화욕에서 전착된 아연-니켈 합금 피막
  5. 연구문헌자료.. Cr+3(3가크롬) 전해질로부터 크랙 프리 크롬 Cr 피막
  6. 연구문헌자료.. 플래시 에칭을 위한 우수한 V-Pit 저항을 가진 산성 구리 전기도금 공정
  7. 연구문헌자료.. 펄스 전류 전해에 있어서 산성 황산구리욕으로부터 구리의 전착에 있어서 중간체 (Cu) 의 역할
  8. 연구문헌자료.. 안정제로 에틸렌디아민을 포함하는 용액으로부터 펄스 도금에 의해 동시 전착 전기도금된 금-주석 땜납 합금의 구조 및 조성
  9. 연구문헌자료.. 펄스 도금에 의한 비정질-나노결정 코발트 인 혼합
  10. 연구문헌자료.. 광택제를 사용한 펄스도금에 있어서 레벨링 : 주파수 및 유체역학적 활성 첨가제의 시너지 효과
  • 버프硏磨加工技術 - 硏磨作業의 效率을 高度化하기위해 - Buff 가공은 일반적으로 버프 연마라고 불리우며 헝겁, 휄트, 가죽등으로 만들어진 원형 물체의 원주표면에 직접 ...
  • 아미노 폴리카복실산염 81.4 중량 %, 질산 나트륨 9.3 중량 % 및 금속 규산나트륨 9.3 중량 % 를 함유하여 제조 되었다. 염 성분은 89 % 의 에틸렌디아민 테트라 소디움염의...
  • 기존의 처리법이 갖고있는 문제점을 보완하고자 전기화학 반응을 이용한 방법을 적용하고, 이때의 처리효율에 영향을 미치는 pH, 농도, 전극종류 및 간격, 매수, 인가전업 ...
  • 박럴을 사용할때의 기본적인 사항을 항목별로 분류 설명함
  • 황산(H2SO4)은 가장 일반적인 산세척제로 산세에 사용할 수 있는 가장 저렴한 산이기 때문이다. 염산(HCI)도 좋은 산세제이나 가격이 비싸고 흄이 문제가 되어 황산보다 적...