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유기물 첨가제와 펄스-역펄스 전착법을 이용한 구리 ViaFilling에 관한 연구
Effects of organic additives on initial stages of zinc electroplatign on iron

등록 2008.08.22 ⋅ 58회 인용

출처 마이크로전자 및 패키징 학회지, 151권 1호 2004년, 영어 7 쪽

분류 연구

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저자

이주열1) 김재우2) 이민규3) 신현준4) 김현태 5), 박수문 6)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.07.29
Via Filling 에 영향을 주는 도금액중 첨가제가 구리도금 결정립에 미치는 영향을 고찰하고 전류 인가방식을 변화하여 결함이 없는 Via filling 방법을 찿는 연구

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