로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 한국전기화학회지 11건

습식도금 자료분류

자료수 11097 건

추천글

Tag LIST

전해전착시 상감 구리 배선의 충전에 미치는 레벨러의 효과
Effect of levler on the trench filling during damascene copper plating

등록 2008.08.23 ⋅ 61회 인용

출처 한국전기화학회지, 5권 3호 2002년, 한글 6 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.10.15
레벨러를 첨가한 도금액과 첨가하지 않은 도금액을 제조하여 레벨러 유뮤에 따른 트렌치 충전 양상을 살펴보았고, 공극 형성 원인을 고찰해 보았다
  • 전석막에 필적하는 특성을 가지며, 미세화의 이점을 가진 무전해 팔라듐-인 Pd-P 피막의 개발 PdCl2 NaH2PO2 NH4OH Thiodiglycolic acid NiSO4 0.01 mol/l 0.20 mol/l 2.96 ...
  • 금속 불순물 제거 ^ Heavey Metal Impurities Remove 도금액을 장기간 사용하면 도금액중에 낙하된 도금물의 용해, 공급되는 양극으로부터 발생되는 금속 불순물 이온, 사용...
  • 폴리에틸렌 글리콜 ^ polyethylene Glycol 구리ㆍ니켈ㆍ아연ㆍ주석 등의 도금에 첨가제ㆍ광택제로 널리 사용되며, 석출을 미세화하는 FGA (Fine Graining Agent) 작용을 한...
  • 전착을 이용한 원자력발전소 전열관 보수기술 개발을 위한 기초실험으로 Ni-P-B 합금전착에 대한 철스전류와 첨가제의 영향을 조사
  • 금 밎 금합금 전주도금 금 전주욕은 대부분 시안화욕, 아황산욕, 염화물 또는 이들의 기반으로 조제한다. 구연산염욕은 전주욕에는 그다지 사용하지 않는다. 도금욕 조성 |1...