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전기도금 구리막에 있어서 마이크로 보이드의 성장거동과 조성에서 유기첨가제의 효과
Effect of Organic Additives on Formation and Growth Behavior of Micro-Void in Electroplating Copper Films

등록 2017.12.26 ⋅ 37회 인용

출처 Materials Transactions, 45권 11호 2004년, 영어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.24
Si-ULSI (초대형 통합) 장치에 사용되는 전기 도금된 구리 Cu 인터커넥트의 보이드 형성 메커니즘을 이해하기 위해 유기첨가제가 있거나 없는 도금조를 사용하여 전기도금 기술로 준비된 Cu 피막의 미세구조를 투과전자 현미경으로 조사했다 (TEM). 도금된 상태의 샘플에서, 유기첨가제와 함께 도금조에서 준비된 시드 Cu 층...
  • Qualilab ®QL-5EZ는 거의 모든 전기 도금욕의 유기 첨가제를 정량적으로 측정 할 수 있는 새로운 소프트웨어 플랫폼과 함께 CVS 계측의 최신 세대입니다. QL-5EZ는 무기...
  • 사용량이 비교적 적고, 또한 공해발생률도 적은 이욕은 생략하고, 구리 및 아연도금 대해 설명하였다.
  • 여과지 ㆍ Filter paper 여과지는 크게 정성 여과지 (Qualitative) 와 정량 여과지 (Quantitative) 로 나누며, 용도와 재질에 따라 크로마토용, 석영섬유, [PTFE] 등이 있다...
  • 염화팔라듐 PdCl은 무전해도금 강판 스파이크의 높은 질적 화학로드, 위 과정의 분해 실제 긍정적 인 변화 테스트 저널딩 적당한 속도를 가속, 실험 연구 소규모 다중 네트...
  • 도금의 역할 ^ The role of plating 도금은 금속등과 같은 고체의 표면을 금속과 유사하게 피복하는 것으로, 물리적 화학적으로 피복하여, 제품이 요구하는 특성과 맞는 성...